远光软件：提速的跨界淘金
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但对于Cu/SiO2混合键合过程，远光除了要考虑Cu表面的充分还原还需要同时保证SiO2表面能的提升，远光常用的预处理手段因往往只顾及一种表面状态导致活化效果不够理想。
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